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纳米信息与表面技术研究室

致力于纳米技术在电子信息与表面技术领域的应用,研究实用新型纳米电子信息材料、器件、装备制造技术及薄膜表面技术的应用,建立满足市场需求的纳米电子信息及表面技术应用平台,促进我国纳米技术在信息材料与表面技术领域的发展。



研究方向

实用纳米电子信息材料与器件的研发,新型微纳米传感材料与器件的开发,新型薄膜材料研制,新型纳米材料加工装备,信息材料表面性能、形貌测试服务及相关测试技术。

研究内容

1. 低维半导体纳米材料制备及其应用;

2. 新型纳米半导体(光电、电磁等)材料与器件开发;

3. 新型气敏传感材料、器件及其测试系统开发;

4. 新型纳米薄膜及其制备技术研发;

5. 基于原子层沉积技术的加工技术及装备开发。


发展现状

技术方面:系统研究了多种低维纳米半导体材料结构与性能关系,掌握了低维纳米半导体材料的制备及结构调控技术;开发了多种低维纳米气体传感材料、光电功能材料、器件、功能薄膜材料及纳米薄膜加工装备。

科研方面:多年来承担国家、地方、企事业研发和服务项目累计40余项;申请国家发明专利100多项,其中授权40余项;开发各类技术成果及产品近20项;在有关期刊和会议发表论文60余篇。

硬件方面:拥有先进的纳米电子功能材料及其器件的制备及检测手段,气体传感材料、器件以及检测系统研究开发手段;大尺寸原子层沉积系统等新型纳米薄膜加工、检测手段。

团队方面:聘请国内多位知名专家为兼职/顾问教授,建立了一支具有丰富经验的产学研用技术团队,多人次获得各类人才计划称号,并与多家高校及科研院所建立了长期的合作关系。