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中心自主研发的12英寸原子层沉积设备顺利通过专家验收

发布时间:2017/5/16  发布者:  浏览次数:640

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2017年5月11日下午,中心承担的“大尺寸原子层沉积系统的研发”验收会议在中心隆重举行。该项目2014年获得立项,由中心和中科院上海技术物理研究所共同承担,主要面向科技成果转化与产业化应用。项目主要目标:围绕大尺寸原子层沉积系统制备的相关技术,开发12英寸原子层沉积样机一台,并掌握常见的3种纳米薄膜的多种加工工艺。
项目验收专家组由上海新材料行业协会陈士信教授领携,包括镓特半导体科技(上海)有限公司李起鸣总经理、复旦大学孙清清教授、上海微技术工业研究院袁理总监和中科院上海微系统所狄增锋研究员。市科委高新处李言旭老师主持了项目验收会议,高新领域项目管理中心董欣宇主任及课题组承担单位的有关负责人、科研人员代表出席了会议。
会议首先由李言旭老师宣布验收会议正式开始,并介绍了验收组专家、推选出验收组组长。中心尹桂林副总工代表项目团队做了汇报,主要包括项目背景、立项目标、完成情况等,并重点介绍了开发样机的整体性能和加工工艺,以及未来产业化的思路,并现场展示了加工的薄膜样品。
专家组对项目组在经费有限的条件下完成了拟定目标并制备出具有自主知识产权的12英寸原子层沉积系统表示充分肯定,高度评价了样机中沉积腔体的设计、控制系统优化等方面形成的自主知识产权,并认为项目依托单位的全力支持和项目团队的协同努力拼搏,为项目目标的全面完成奠定了基础;同时专家组也为该项目和设备的今后发展提出多项宝贵建议。项目团队代表——上海市技术物理研究所戴宁副所长,代表项目承担单位对验收专家组表达了诚挚的谢意,肯定了以项目负责人尹桂林为首的年轻团队做出的努力和取得的成果。最后高新处李老师宣读了本次项目验收决议,对课题圆满验收表示祝贺,并希望项目团队结合验收专家组的建议,继续为该项成果的发展而努力奋斗。

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